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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:勻膠顯影儀

  • 產(chǎn)品型號:SC100-DE
  • 產(chǎn)品廠商:其它品牌
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
勻膠顯影儀是一種既可用于精密勻膠操作,又可用于半導(dǎo)體顯影和清洗的臺面式設(shè)備,它可以實(shí)現(xiàn)價值百萬美元設(shè)備(track)的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。
詳情介紹:
勻膠顯影機(jī) 型號:SC100-DE
SC100-DE勻膠顯影機(jī)是一種既可用于密勻膠操作,又可用于半導(dǎo)體顯影和清洗的臺面式設(shè)備,它可以實(shí)現(xiàn)價值百萬美元設(shè)備(track)的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。

不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀;工業(yè)級別200瓦伺服電機(jī)系統(tǒng),采用與track設(shè)備相同設(shè)計和程序,使您的工藝更具有實(shí)際應(yīng)用意義;同類產(chǎn)品中**的大達(dá)到50000RPM/S的旋轉(zhuǎn)加速度,確保勻膠和顯影的穩(wěn)定性和的可重復(fù)性。
主要性能指標(biāo):
主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料(抗化學(xué)腐蝕易清潔) 
旋涂程序:多可存100組程序,每組100步,每個步驟可到0.1秒 
轉(zhuǎn)動速度:0-10,000rpm(更速可選) 
旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空載) 
馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm 
轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)度<1rpm,重復(fù)性< 1rpm 
工藝時間設(shè)定: 0-3,000 sec/step,時間設(shè)置度:0.1sec 
支持wafer尺寸1cm-200mm(8“圓晶) 
標(biāo)準(zhǔn)配置兩路噴液系統(tǒng)(顯影液和去離子水)



產(chǎn)品特性優(yōu)點(diǎn):
主機(jī)在SC100-SE勻膠機(jī)上升級,增加耐腐蝕分子材料防濺式罩蓋

全程序編輯功能,更方便的智能化操作,更好的顯影/清洗效果 
可實(shí)現(xiàn)多**立四路噴液用于顯影/清洗工作,或進(jìn)行氮?dú)獯蹈?nbsp;
控制器可實(shí)現(xiàn)程序動控制噴液或進(jìn)行手動操作,使用更加方便

顯影系統(tǒng)可進(jìn)行噴霧式、柱流式多種選擇,視要求進(jìn)行配置 
提供客戶定制化的顯影系統(tǒng)配置和工裝設(shè)計 
可靠性和重復(fù)性,轉(zhuǎn)速度和更轉(zhuǎn)速可選 
可添加去邊膠和背膠清洗功能
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